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PI 普愛納米位移技術(shù)
六軸并聯(lián)定位臺，納米/微米定位臺，壓電陶瓷/壓電促動器，壓電偏擺鏡，壓電控制器，直線電機/直線促動器，電容位置傳感器
六軸并聯(lián)定位臺
六自由度高精度并聯(lián)運動
無軸間運動串擾和誤差累計
低運動慣量，高結(jié)構(gòu)剛度
可自由設定旋轉(zhuǎn)中心
特殊設計可承受1000公斤以上負載 |
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納米定位臺
從1軸到6軸運動
并聯(lián)運動和并聯(lián)測量技術(shù)
保持記錄的高絕對精度與重復精度
可選電容傳感器高可達0.02nm閉環(huán)分辨率
定制型號可選擇銦鋼、鈦等不同材料 |
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微米定位臺
從1軸到6軸的直線與旋轉(zhuǎn)運動
直線電機/陶瓷電機/步進/直流伺服
獨有的大行程納米定位技術(shù)
力矩電機+氣浮軸承超高精度轉(zhuǎn)臺
直線臺/升降臺/旋轉(zhuǎn)臺/搖擺臺/多軸臺 |
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壓電陶瓷/壓電促動器
壓電陶瓷技術(shù)，高可靠性，長壽命
亞納米級位移分辨率，微秒級響應時間
輸出力高可達50000N
無機械空回，無靜摩擦和滑動摩擦
不受磁場干擾，提供真空、低溫兼容產(chǎn)品 |
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壓電偏擺鏡
1維至2維超快可控偏擺運動
光學偏擺范圍大可達120mrad
超快響應時間，超高角度定位精度
大量用于光學追蹤、掃描、穩(wěn)像等應用
可根據(jù)用戶的不同需求進行定制 |
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直線電機/直線促動器
壓電陶瓷電機/直線電機/步進/直流伺服
PiezoWalk技術(shù)提供毫米級運動行程和亞納米級分辨率，大推力，可自鎖
PiezoWalk系列超小尺寸高速運動
可根據(jù)不同推力、行程、速度和精度要求進行定制 |
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壓電控制器
單系統(tǒng)1軸到6軸，以及多軸串接
模擬和數(shù)字多種內(nèi)部結(jié)構(gòu)可選
RS232,USB,TCP/IP等多種計算機接口
先進的低噪聲驅(qū)動和高級控制算法
提供控制界面和二次開發(fā)包，支持LabView, C++, VC, VB, Delphi, Matlab等 |
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微米定位系統(tǒng)控制器
單通道及多通道系統(tǒng)
微步控制/混合控制/實時差補/并行控制
RS232,USB,TCP/IP,CAN等多種接口
多通道系統(tǒng)多種控制網(wǎng)絡方式可選
提供控制界面和二次開發(fā)包，支持LabView, C++, VC, VB, Delphi, Matlab等 |
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電容位置傳感器
位置、運動、振動的非接觸測量
量程從10微米到1000微米
皮米級位移分辨率，10KHz的帶寬
耐高溫，長時間穩(wěn)定性（<0.1nm/3h）
無磁及真空環(huán)境兼容 |
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線陣CCD光纖光譜儀
